[<< Стр.]    [Стр. >>]

В 1983 г. выработка монокристаллов кремния в капиталистических странах оценивалась в 3 тыс. т (максимальный диаметр кристаллов достиг 210 мм). В США и Японии в промышленном масштабе начат выпуск интегральных схем на подложках диа-

[<< Стр.]    [Стр. >>]