Позитивные фоторезисты имеют высокую разрешающую способность, позволяют применять как контактный способ печати, так и способ проекции. При их обработке можно использовать водорастворимые проявители. Их недостатки — более высокая стоимость, меньшая чувствительность, менее прочное сцепление с подложкой, необходимость более строгого соблюдения условий проявления.

[Выходные данные]