Фоторезисты классифицируют также по величине разрешающей способности: от 1000 до 250 мкм (печатные схемы для радиоприемников и др.) — фотолитографические пасты; от 375 до 100 мкм и меньше (печатные платы для ЭВМ и средств телекоммуникации) — сухие пленки; около 25 мкм (полупроводниковые интегральные схемы) — жидкостные фоторезисты.

[Выходные данные]